Spectrometria de masă cu plasmă cuplată inductiv (ICP-MS) este un tip de spectrometrie de masă foarte sensibilă. Aceasta poate detecta o serie de metale și mai multe nemetale la concentrații mai mici de o parte la 1012 (parte pe trilion). Se bazează pe conectarea unei plasme cuplate inductiv ca metodă de producere a ionilor (ionizare) cu un spectrometru de masă ca metodă de separare și detectare a ionilor. Mulți chimiști folosesc Argon ca gaz purtător pentru a realiza plasma. Aparatul trimite ionii probei printr-o serie de conuri mici. Conurile permit ionilor din plasmă să intre încet în camera de vid a spectrometrului de masă.
În analiza oligoelementelor, metoda prezintă avantajele unei viteze, precizii și sensibilități ridicate în comparație cu tehnicile de absorbție atomică. Analiza unor concentrații mai mici în același timp este mai predispusă la perturbări cauzate de urme de contaminanți din instrumentarul de laborator și reactivii utilizați. Unii analiți nu pot funcționa cu ICP-MS. Verificarea rezultatelor analizei necesită lucrări suplimentare.
Varietatea aplicațiilor o depășește pe cea a ICP-OES și include speciația izotopică. Deoarece ICP-MS poate contribui la fabricarea de bombe atomice, hardware-ul ICP-MS face obiectul unor reglementări speciale de export.